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活塞泵厂家真空系统应用低温泵在超高真空炉实例

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    活塞泵厂家真空系统应用低温泵在超高真空炉实例

通过低温介质将抽气面温度降低到20 K 以下,抽气面就可以冷凝沸点温度较低的气体,从而抽出大量的气体。这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵,或冷凝泵。是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、吸附或是冷凝+ 吸附,将被抽空间的压力降低,而获得真空或维持真空状态的装置。

作为完整的抽气系统,低温泵由两部分组成,主体为真空泵体,第二部分为压缩机。现在得到广泛应用的都是制冷机式低温泵,其核心是低温制冷机。工作基本流程为:氦气首先被压缩到高温高压状态;再通过热交换器被冷却为常温氦气;经纯化后的高纯氦气*后经汽缸完成绝热膨胀,变成低温氦气。如此不断循环,氦气被不断降温,成为制冷介质—低温氦气。

选择低温泵的优势有:

①洁净,纯无油,抽气范围宽,可快速获得理想的超高真空环境;

②与口径相同的其它真空泵相比,低温泵有更大的抽速,尤其抽出水蒸汽的能力;

③对被抽气体无选择,杂质颗粒而不影响系统工作;

④可以任意角度安装,没有运动部件,不需要前级泵,运行和维护成本低;



⑤暴露大气对系统影响小,压缩机断水后可以自保护,所以可以实现无人值守







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